电子工业 · 2025-11-17 11:18 · 阅读 2446
电子洁净室的空气采样频次按风险和监测点等级分层确定。
A级关键工位在线悬浮粒子连续监测,B级静态每班至少一次,C级每周一次,D级每月一次。动态监测在产品换批、人员变动或过滤器维修后加密。
浮游菌采样按ISO 14644-2执行,静态每个测点每次采1立方米,采样量不足时延长时间。历史数据连续三个月稳定达标后可申请降低频次,一旦超标立即恢复并加测。