精密电子车间，化学污染怎么控制

精密电子车间除了粒子，气态化学污染AMC同样伤产品。

光刻间里氨气、二氧化硫、酸性气体在镜片上沉积，会导致光刻胶图案缺陷。控制办法分三步：送风端在初效中效高效之后加化学过滤段，用活性炭和浸渍高锰酸钾的滤料吸附酸性、碱性气体；

车间内不存放显影液、剥离液等大宗化学品，用完即清；化学品储存间与洁净区完全隔开，独立排风。

在线装气态分子污染物监测仪，氨气控制在一 ppb 以下，二氧化硫零点五 ppb 以下。换班时人员不喷护肤品、不接触挥发性溶剂，进入洁净区前在风淋室吹三十秒。