半导体车间的化学过滤器，什么时候换

半导体车间化学过滤器按吸附饱和和出口浓度换。

一般活性碳或化学滤料初效拦截酸性气体如HF、HCl，碱性气体如NH3，入口气体浓度在线监测。出口达到进口浓度的5%到10%即判穿透，启动更换。

常规使用周期6到12个月，具体看工艺排风负荷。更换时整个滤箱整体换下，避免散漏。

换下的滤料按危废处理。每季度用气体检测仪抽测一次，记录出口SO2、H2S、NH3数值。