光伏电池车间净化等级按工序分区定,不必整间拉到最高。
制绒、扩散、刻蚀、PECVD和丝网印刷的主设备内部自带微环境,车间本体按ISO 8级即十万级设计即可,关键工位局部加FFU做到ISO 6到7级。组件封装区对湿度敏感,主要控温在23正负2摄氏度、相对湿度小于等于60%,净化做到十万级足够。
分选、测试和包装按一般工业洁净处理。车间正压维持10帕以上,设备间排风与送风联动,避免排氢排酸区域负压串味。
温湿度记录每两小时一次,尘埃粒子每季度静态测一次,满布FFU区域按60%预留检修位,方便后续扩产换线。车间内ESD接地网同步敷设,设备接地端就近接入等电位端子,离子风机布置在晶圆搬运和裂片工位。
